| 专利名称 | 一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法 | 申请号 | CN201611169770.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106646867A | 公开（授权）日 | 2017.05.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 卢增雄;齐月静;王宇;苏佳妮;齐威;杨光华;周翊;孟庆宾 | 主分类号 | G02B27/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B27/00(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法 至一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(601)和夏克 哈特曼波前传感器(7)。本发明采用人工神经网络法进行深紫外光学系统与球面反射镜的共焦对准调整，利用共焦对准模型采集样本，通过神经网络训练建立Zernike多项式系数和系统失调量之间的关系实现快速、高精度的共焦对准。 |
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