光栅衍射效率光谱测量装置和测量方法

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专利名称 光栅衍射效率光谱测量装置和测量方法 申请号 CN201611039171.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106596058A 公开(授权)日 2017.04.26 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 刘世杰;王圣浩;王微微;倪开灶;徐天柱;鲁棋;潘本威 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I;G01J3/30(2006.01)I 专利有效期 光栅衍射效率光谱测量装置和测量方法 至光栅衍射效率光谱测量装置和测量方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种用于平面光栅的光栅衍射效率光谱测量装置和测量方法,测量装置主要包括激光光源、单色器、光阑、偏振片、分束镜、待测光栅、光电探测器、正弦机械结构和电子学控制等部分。本发明的优点是:(1)显著提高了光栅衍射效率光谱的测量速度,可以实现光栅衍射效率光谱的快速测量,如应用于观测光栅衍射效率光谱特性在温度、湿度以及激光辐照损伤等环境因素下的动态变化过程;(2)在测量过程中,仪器的机械构件始终保持匀速运动状态,测试系统因而具有较高的机械稳定性;(3)测量仪器具有较高的工作效率。

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