一种氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法

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专利名称 一种氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法 申请号 CN201510548168.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106486336A 公开(授权)日 2017.03.08 申请(专利权)人 中国科学院大连化学物理研究所 发明(设计)人 张丽华;朱旭东;蒋好;梁玉;杨开广;梁振;张玉奎 主分类号 H01J49/04(2006.01)I IPC主分类号 H01J49/04(2006.01)I;H01J49/26(2006.01)I;G01N27/62(2006.01)I 专利有效期 一种氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法 至一种氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种新型氢氟酸刻蚀毛细管制备石英针的方法。具体地说是将毛细管欲刻蚀位置的聚合物涂层去除,然后将该毛细管固定于设计的装置(图1),加入一定体积氢氟酸对毛细管进行刻蚀,直至毛细管刻蚀断裂。氢氟酸的挥发作用以及与石英表面的亲和作用,使石英毛细管刻蚀部位形成锥形面。该方法能够广泛应用于质谱电喷针、基因工程显微注射针等需要控制外径及锥面的石英材料的制备。

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