| 专利名称 | 一种用于将样品架锁定至样品台的锁定装置 | 申请号 | CN201510468456.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106423335A | 公开（授权）日 | 2017.02.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 吴泽宾;高鸿钧;郇庆 | 主分类号 | B01L9/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B01L9/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于将样品架锁定至样品台的锁定装置 至一种用于将样品架锁定至样品台的锁定装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于将样品架锁定至样品台的锁定装置，其利用锁定件将样品架完全固定至样品台并且可以通过解锁件进行解锁，从而克服了现有技术中的样品架不能在样品台上牢固地固定的问题。可广泛应用于真空环境中的分子束外延系统(MBE)、扫描隧道显微镜系统、角分辨光电子能谱等系统。 |
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