一种硬度宽变的耐磨涂层及其制备方法及应用

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专利名称 一种硬度宽变的耐磨涂层及其制备方法及应用 申请号 CN201610830915.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106381471A 公开(授权)日 2017.02.08 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 黄峰;李朋;贾丛丛;葛芳芳;朱萍 主分类号 C23C14/35(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I 专利有效期 一种硬度宽变的耐磨涂层及其制备方法及应用 至一种硬度宽变的耐磨涂层及其制备方法及应用 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种硬度宽变的耐磨涂层及其制备方法,所述的耐磨涂层的组成为CrxSiyN1?x?y,其中x=0.45~0.55,y=0.03~0.15,x,y为原子比率;所述的耐磨涂层呈长短不一的柱状晶生长结构,每个柱状晶的宽度为40~150nm,柱状晶的长宽比为15~55,沿涂层生长方向,在所述柱状晶长度的30~75%处出现了分离存在孔隙,孔隙宽度为2~10nm。所述的耐磨涂层的硬度可在较大范围内变动,而所述的耐磨涂层的耐磨性几乎不受影响。所述的耐磨涂层可应用于摩擦传动部件。由于所述的耐磨涂层硬度在较大范围内可调,可使主副摩擦部件保持同样的硬度,这样不会由于硬度的差异,使得较低硬度的部件易被磨损,进而改善主副摩擦部件之间的融合性。

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