| 专利名称 | 石墨托以及装有石墨托的晶体生长炉 | 申请号 | CN201510418813.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106337204A | 公开（授权）日 | 2017.01.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 发明（设计）人 | 鞠涛;张立国;李哲;范亚明;张泽洪;张宝顺 | 主分类号 | C30B29/36(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B29/36(2006.01)I;C30B25/12(2006.01)I;C30B23/02(2006.01)I | 专利有效期 | 石墨托以及装有石墨托的晶体生长炉 至石墨托以及装有石墨托的晶体生长炉 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种石墨托以及装有石墨托的晶体生长炉，所述石墨托为中部截面直径小于两端截面直径的回转体结构。所述晶体生长炉，包括：位于反应室内的石墨托，以及设置在所述反应室周向的加热装置，其特征在于，所述石墨托为中部截面直径小于两端截面直径的回转体，所述石墨托上部设有台面，所述加热装置的位置配合所述石墨托以对其进行加热。本发明设置的石墨托中部设有径向尺寸较小的中部，在石墨托外周设置的加热装置向石墨托进行振荡加热后，石墨托上部的台面能够获得较为均匀的热量，热量在台面上分布较为均匀，从而保证衬底上的温度较为均匀，为晶体外延生长过程中提供了均匀的温度环境，保证衬底上晶体外延生长均有较好的均匀性。 |
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