一种填补致密膜缺陷的方法

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专利名称 一种填补致密膜缺陷的方法 申请号 CN201510346454.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106310956A 公开(授权)日 2017.01.11 申请(专利权)人 中国科学院大连化学物理研究所 发明(设计)人 郑磊;李慧;徐恒泳 主分类号 B01D67/00(2006.01)I IPC主分类号 B01D67/00(2006.01)I 专利有效期 一种填补致密膜缺陷的方法 至一种填补致密膜缺陷的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明采用高温胶与一定粒径分布的陶瓷粒子混合制备复合修饰液,对致密膜上存在的缺陷实现全范围修饰(几个纳米-几百微米)。其中陶瓷粒子用来修饰致密膜上的大缺陷(如大于5nm),高温胶用来修饰致密膜上的小缺陷(如小于5nm);另外,高温胶的使用能显著提高修饰液的流平性能,并且起到对陶瓷粒子粘合增韧的目的,从而降低后处理温度。采用本发明制得的复合修饰液对有缺陷的致密膜表面进行涂覆修饰,陶瓷粒子及高温胶只填充缺陷部分,并不吸附在致密膜表面。该方法能实现接近100%的缺陷填充率,具有工艺简单、重复性好的优点,适合规模化的致密膜缺陷填补。

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