| 专利名称 | 一种运动平台及光路安装调节的装置和方法 | 申请号 | CN201610770533.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106291854A | 公开（授权）日 | 2017.01.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 | 发明（设计）人 | 陈鲁;张朝前;刘虹遥;杨乐;马砚忠;路鑫超 | 主分类号 | G02B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种运动平台及光路安装调节的装置和方法 至一种运动平台及光路安装调节的装置和方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明属于光学技术领域，公开了一种运动平台及光路安装调节的装置和方法，其中，装置包括：基准器件、运动平台、调节件、螺纹副、固定件、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜；方法为：固定基准器件；在基准器件的下方放置运动平台；通过样品台沿旋转轴和直线轴的运动，结合样品台上的特征点在CCD中的成像，以基准点为参照物进行判断，通过调节螺纹副推进调节件，实现对运动平台安装位置的调节；通过样品台沿Z轴方向上下移动，结合入射光束在CCD中的成像，以基准点为参照物进行判断，通过调节反射镜实现对光路进行调节。本发明实现了运动平台及光路安装位置的精细调节。 |
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