| 专利名称 | 一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统 | 申请号 | CN201610548432.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106248564A | 公开（授权）日 | 2016.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 谢婉露;吴晓斌;陈进新;王魁波;张罗莎;罗艳;周翊;王宇;崔惠绒 | 主分类号 | G01N17/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N17/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统 至一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种极紫外辐照损伤测试系统，包括光源腔室、收集镜腔室和测量腔室，收集镜腔室与测量腔室之间装有快门，快门可通过开/关状态的切换来改变光束的后续传播；测试腔室容纳有样品调节台、能量校准单元和辐照能量在线测试单元，样品调节台用于装载辐照损伤测试样品，辐照能量在线测试单元设置在快门与样品调节台之间的光路上，用于测试辐照在样品表面的能量，能量校准单元设置于在线测试单元与样品调节台之间的光路上，用于校准辐照能量在线测试单元。本发明的系统可在辐照损伤测试过程中实时测试辐照能量，提高辐照损伤测试结果的准确性和可靠性，且结构简单，安装方便，容易操作。 |
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