利用衍射图样定标空间滤波器中小孔位置的方法

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专利名称 利用衍射图样定标空间滤波器中小孔位置的方法 申请号 CN201610766057.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106199996A 公开(授权)日 2016.12.07 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 李文启;梁晓燕;於亮红;郭震;彭纯;李儒新 主分类号 G02B27/46(2006.01)I IPC主分类号 G02B27/46(2006.01)I 专利有效期 利用衍射图样定标空间滤波器中小孔位置的方法 至利用衍射图样定标空间滤波器中小孔位置的方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种利用衍射图样定标空间滤波器中小孔位置的方法,包括步骤:在空间滤波器前面插入一个定标光阑,利用CCD观测激光辐照定标光阑后产生的远场衍射图样来标定激光焦点在空间滤波器中小孔处的具体位置,通过调节小孔使激光焦点与小孔中心准确重合。本发明有效地解决了激光因过孔偏差导致的出射激光光斑畸变的问题,具有校对准确、调节方便、简单高效和实用性强等特点。

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