一种具有金刚石涂层的硬质合金件及其制备方法

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专利名称 一种具有金刚石涂层的硬质合金件及其制备方法 申请号 CN201610626731.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106191807A 公开(授权)日 2016.12.07 申请(专利权)人 中国科学院深圳先进技术研究院 发明(设计)人 唐永炳;王陶;张文军 主分类号 C23C16/27(2006.01)I IPC主分类号 C23C16/27(2006.01)I;C23C16/32(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C28/04(2006.01)I 专利有效期 一种具有金刚石涂层的硬质合金件及其制备方法 至一种具有金刚石涂层的硬质合金件及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种具有金刚石涂层的硬质合金件,包括硬质合金基体,以及依次设置于所述基体上的碳化硅层、碳化硅?金刚石梯度复合涂层和金刚石涂层,所述碳化硅?金刚石梯度复合涂层中,沿厚度方向由所述碳化硅层向所述金刚石涂层,碳化硅含量逐渐减少而金刚石含量逐渐增加。本发明通过在硬质合金基体上先沉积碳化硅层和碳化硅?金刚石梯度复合涂层作为中间层,再沉积金刚石涂层,使得基体表面的整个涂层从基体到顶层不仅成分呈梯度变化,无新界面的增加,而且热膨胀系数呈梯度变化,从而有效降低金刚石薄膜中的热应力,提高薄膜结合力。本发明还提供了该具有金刚石涂层的硬质合金件的制备方法。

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