一种双金属/陶瓷复合薄膜及其制备方法

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专利名称 一种双金属/陶瓷复合薄膜及其制备方法 申请号 CN201610671229.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106167892A 公开(授权)日 2016.11.30 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 高俊华;曹鸿涛;王小雨 主分类号 C23C14/35(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I 专利有效期 一种双金属/陶瓷复合薄膜及其制备方法 至一种双金属/陶瓷复合薄膜及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种双金属/陶瓷复合薄膜,由双金属粒子和陶瓷相组成,双金属粒子嵌入到陶瓷相中,形成双金属/陶瓷复合层;所述的双金属粒子为WAl或WTi,其中,基体元素为W,掺杂元素为Al或Ti;所述的陶瓷相为氧化铝或二氧化硅;本发明还公开了该双金属合金陶瓷薄膜的制备方法,通过多靶磁控共溅射的技术来实施,其制备工艺简单,所获得的双金属陶瓷薄膜在紫外、可见光和近红外区域具有强的太阳光谱吸收特性,并具备优异的热稳定性,适用于温度高于550℃下金属纳米粒子的光吸收应用领域。

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