| 专利名称 | 具有高衍射效率的大口径薄膜衍射元件的制作方法 | 申请号 | CN201610688679.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106154382A | 公开（授权）日 | 2016.11.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 张健;刘正坤;邱克强;徐向东;付绍军 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | 专利有效期 | 具有高衍射效率的大口径薄膜衍射元件的制作方法 至具有高衍射效率的大口径薄膜衍射元件的制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 为了解决目前在大口径薄膜衍射元件制备工艺中存在的技术难题，本发明提供了一种具有高衍射效率的大口径薄膜衍射元件的制作方法，包括5个步骤：步骤1为多台阶浮雕结构石英基底制作，步骤2为聚合物溶液的涂覆，步骤3为聚合物溶液的固化成膜，步骤4为薄膜与基底的分离，步骤5为薄膜的拼接。有益的技术效果：本发明具有低成本、重复性高、简单高效的优点。由本方法制备出的元件的衍射效率不低于70％。 |
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