| 专利名称 | 一种涂胶装置 | 申请号 | CN201610565195.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106000776A | 公开（授权）日 | 2016.10.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 薛海韵;曹立强;宋崇申;张文奇 | 主分类号 | B05C5/02(2006.01)I | IPC主分类号 | B05C5/02(2006.01)I;B05C13/02(2006.01)I;B05C11/10(2006.01)I | 专利有效期 | 一种涂胶装置 至一种涂胶装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种涂胶装置，该装置包括载台、吸附于载台之上的晶圆，以及晶圆上方的胶体注入管路，胶体注入管路具有一喷头，该喷头正对晶圆表面，该装置还包括：一圆形托盘，设置于晶圆上方，在涂胶时该圆形托盘与晶圆一起夹住旋涂于晶圆表面的胶体，使胶体不会朝某个方向流出，并能得到较厚的胶膜。对于需要将粘度较小的胶涂布成较厚的膜时，本发明提供的这种涂胶装置，圆形托盘与晶圆可以一起先将胶体夹住一段时间，等胶体粘度增大到某个点时，再进行旋涂，进而能够得到较厚的胶膜。 |
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