| 专利名称 | 多孔氮化硅支撑膜窗格的制备 | 申请号 | CN201610577013.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105977122A | 公开（授权）日 | 2016.09.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院物理研究所 | 发明（设计）人 | 时金安;谷林 | 主分类号 | H01J37/20(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/20(2006.01)I | 专利有效期 | 多孔氮化硅支撑膜窗格的制备 至多孔氮化硅支撑膜窗格的制备 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种多孔氮化硅支撑膜窗格，所述多孔氮化硅支撑膜窗格包括衬底，覆盖在所述衬底一面的正面氮化硅，覆盖在所述衬底另一面的背面氮化硅和贯穿所述衬底与背面氮化硅的窗口；所述正面氮化硅具有多个贯通孔，所述贯通孔的孔径和孔间距可控。本发明所制备的多孔氮化硅支撑膜窗格产生的多孔孔径均一，支撑膜无残留杂质。本发明还提供了该多孔氮化硅支撑膜窗格的制备方法和一种用于透射电镜成像的产品或装置。 |
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