| 专利名称 | 一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪 | 申请号 | CN201610237366.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105928454A | 公开（授权）日 | 2016.09.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 李杨;张文喜;相里斌;伍洲;孔新新;吕笑宇;刘志刚;郭晓丽 | 主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪 至一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种双光纤点衍射全视场低频外差干涉仪，其采用声光移频器外差干涉移相，有效避免干涉仪存在运动件，测量精度进一步提高，抗干扰性好，且研制难度与成本可以降低；尤其对于大口径面形的测量，相比机械驱动同样的优势更明显；同时，采用了双光纤插芯的方案，用两束点衍射光分别作为参考光与测量光，增大了光纤点衍射干涉仪的可测量镜面相对孔径。 |
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