大口径反射光学系统中间像面检测装置

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专利名称 大口径反射光学系统中间像面检测装置 申请号 CN201820165647.3 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN208012836U 公开(授权)日 2018.10.26 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 庞志海;樊学武;邹刚毅;马臻 主分类号 G01M11/00(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/00(2006.01)I 专利有效期 大口径反射光学系统中间像面检测装置 至大口径反射光学系统中间像面检测装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型涉及一种大口径反射光学系统中间像面检测装置,其解决了现有大口径反射光学系统装调过程中光学系统中间像面非完善成像、次镜平移倾斜的特殊组合状态、检测视场过于单一等技术问题。该装置包括干涉自准平面镜、干涉仪以及衍射平板;干涉自准平面镜设置在待测大口径反射光学系统次镜的正前方,干涉仪设置在待测大口径反射光学系统主镜的正后方,衍射平板设置在待测大口径反射光学系统主镜和次镜形成的一次像面与次镜之间。

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