集成于约瑟夫森结的超导磁场线圈及其制备方法

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专利名称 集成于约瑟夫森结的超导磁场线圈及其制备方法 申请号 CN201710154577.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106953000A 公开(授权)日 2017.07.14 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明(设计)人 王会武;刘全胜;张栖瑜;刘晓宇;马林贤;应利良;王镇 主分类号 H01L39/02(2006.01)I IPC主分类号 H01L39/02(2006.01)I;H01L39/22(2006.01)I;H01L39/24(2006.01)I 专利有效期 集成于约瑟夫森结的超导磁场线圈及其制备方法 至集成于约瑟夫森结的超导磁场线圈及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种集成于约瑟夫森结的超导磁场线圈及其制备方法,所述超导磁场线圈包括:多条底层磁场线圈层、多条顶层磁场线圈层、第二绝缘材料层;所述多条底层磁场线圈层和多条顶层磁场线圈层之间通过所述第二绝缘材料层隔离;所述第二绝缘材料层中设有开孔,所述开孔中填充有第三超导材料层;所述顶层磁场线圈层通过所述开孔中的第三超导材料层连接相邻两条底层磁场线圈层,从而形成整个超导磁场线圈。本发明制备的超导磁场线圈能够在约瑟夫森结处产生磁场,而且通入电流数值将比现有技术所需的电流小,可以扩展约瑟夫森结随磁场变化测量中的磁场范围,提升测量效率。

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