一种二硫化钼/铅钛合金纳米多层薄膜及其制备方法

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专利名称 一种二硫化钼/铅钛合金纳米多层薄膜及其制备方法 申请号 CN201611033386.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106521441A 公开(授权)日 2017.03.22 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 蒲吉斌;王立平;李浩;薛群基 主分类号 C23C14/35(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I 专利有效期 一种二硫化钼/铅钛合金纳米多层薄膜及其制备方法 至一种二硫化钼/铅钛合金纳米多层薄膜及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种位于基体表面的二硫化钼/铅钛合金纳米多层薄膜,自基体表面起,依次包括Ti过渡层、Ti与二硫化钼的梯度过渡层、二硫化钼和铅钛合金交替叠加形成的交替多层,以及二硫化钼表层。该薄膜具有良好的膜基结合强度与硬度,在空间真空环境下具有长寿命、良好的耐湿热氧化和抗原子氧性能,能够满足空间真空特殊环境下服役的装备(例如空间站太阳翼伸展机构等)的高可靠和长寿命服役需求,具有很好的应用价值。

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