一种高alpha相氮化硅粉体的制备方法

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专利名称 一种高alpha相氮化硅粉体的制备方法 申请号 CN201611030404.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106430127A 公开(授权)日 2017.02.22 申请(专利权)人 中国科学院理化技术研究所 发明(设计)人 刘光华;杨增朝;贺刚;李江涛 主分类号 C01B21/068(2006.01)I IPC主分类号 C01B21/068(2006.01)I 专利有效期 一种高alpha相氮化硅粉体的制备方法 至一种高alpha相氮化硅粉体的制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种高alpha相氮化硅粉体的制备方法,包括如下步骤:1)将原料按比例混合均匀得到反应物;原料由硅粉、稀释剂和促进剂三部分组成;将原料球磨1?2小时,以混合均匀;2)装料和燃烧合成反应;3)产物收集和检测。本发明从优化初始反应条件入手,即反应物的组成,反应物的结构,起始温度和气体压力,物料冷却方式等,在大量实验基础上,通过对上述工艺参数的优化组合,实现了大型化燃烧合成高alpha相氮化硅粉体;采用的燃烧合成设备进一步提高了反应的单次产率和alpha相含量。

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