一种利用四效耦合精馏提纯三氯氢硅的系统及其处理方法

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专利名称 一种利用四效耦合精馏提纯三氯氢硅的系统及其处理方法 申请号 CN201610701092.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106276920A 公开(授权)日 2017.01.04 申请(专利权)人 中国科学院过程工程研究所 发明(设计)人 华超;陆平;白芳;房川琦 主分类号 C01B33/107(2006.01)I IPC主分类号 C01B33/107(2006.01)I 专利有效期 一种利用四效耦合精馏提纯三氯氢硅的系统及其处理方法 至一种利用四效耦合精馏提纯三氯氢硅的系统及其处理方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种利用四效耦合精馏提纯三氯氢硅的系统及其处理方法,所述第一脱轻塔、第一脱重塔、第二脱轻塔、第二脱重塔、进料预热器、第一脱轻塔再沸器、第一脱重塔再沸器、第二脱轻塔再沸器、第二脱重塔再沸器和热泵压缩机。本发明所述系统将第一脱重塔的塔顶蒸汽用于加热第一脱轻塔的塔釜物料,第二脱轻塔的塔顶蒸汽用于加热第一脱重塔的塔釜物料,第二脱重塔的塔顶蒸汽用于加热第二脱轻塔塔釜物料并预热第一脱轻塔的进料;同时,将第一脱轻塔塔顶蒸汽通过热泵压缩机升压升温后用于加热第二脱重塔塔釜物料,整个工艺流程充分利用了精馏系统内部的热量,节约了蒸汽和冷却水的消耗,同时也降低了装置成本。

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