光栅刻划刀俯仰角的测量装置及其测量方法

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专利名称 光栅刻划刀俯仰角的测量装置及其测量方法 申请号 CN201610647108.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106225649A 公开(授权)日 2016.12.14 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 糜小涛;唐玉国;于海利;姚雪峰;宋楠;齐向东;巴音贺希格 主分类号 G01B5/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B5/24(2006.01)I 专利有效期 光栅刻划刀俯仰角的测量装置及其测量方法 至光栅刻划刀俯仰角的测量装置及其测量方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种光栅刻划刀俯仰角的测量装置及其测量方法,其包括基座、转盘、基准镜、支架和刀架安装座,测量时,测量装置处于基准位置,即第一定位标识和第二定位标识重合,将带有刀刃不倾斜的刻划刀的刀架安装在刀架安装座上,刻划刀的刀刃在测量面上的投影与第三定位标识重合,刻度盘显示的数值为机械零度。将待检测俯仰角的刀架安装在刀架安装座上,若待检测的刻划刀的刀刃在测量面上的投影不与第三定位标识重合时,则通过转动刀架安装座直至重合,此时刻度盘显示的数值为刀刃的俯仰角。通过上述的测量装置可直观而且定量的确定刀架的俯仰角的数值,因此,提高了检测的准确性。

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