| 专利名称 | 大气环境下超滑纳米晶-非晶碳薄膜的制备方法 | 申请号 | CN201610371967.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106011794A | 公开（授权）日 | 2016.10.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 张俊彦;曹忠跃;强力;张斌 | 主分类号 | C23C16/503(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/503(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I | 专利有效期 | 大气环境下超滑纳米晶-非晶碳薄膜的制备方法 至大气环境下超滑纳米晶-非晶碳薄膜的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种大气环境下超滑纳米晶?非晶碳薄膜的制备方法，该制备方法包括以下步骤：将预清洁后的硅片放入丙酮、乙醇中超声清洗，然后转移至等离子体增强化学气相沉积设备的真空腔下部基底盘上，基底盘与负偏压电源相连；抽真空直到小于1.0×10?3帕；通入氩气，在直流偏压500~800?V条件下进行等离子体清洗，用以除去表面残留的杂质和污染物；通入甲烷和氮气，在直流偏压780~820?V条件下镀膜20~40分钟；通入甲烷和氢气，在直流偏压为780~820V条件下镀膜90~120分钟。本发明所获得的薄膜呈现了纳米晶?非晶特征，具有较高的硬度和弹性，以及优异的摩擦学性能（摩擦系数可持续维持在0.005左右，磨损率达到了~10?17m3/N/m级别）。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障