| 专利名称 | 一种SiC热电堆型高温热流传感器 | 申请号 | CN201721869324.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207967050U | 公开（授权）日 | 2018.10.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 李铁;田伟;王跃林 | 主分类号 | H01L35/22(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L35/22(2006.01)I;H01L35/32(2006.01)I;H01L35/34(2006.01)I | 专利有效期 | 一种SiC热电堆型高温热流传感器 至一种SiC热电堆型高温热流传感器 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供一种SiC热电堆型高温热流传感器，包括：硅衬底，具有第一表面和第二表面，在第一表面上设有沟槽以及由沟槽围绕形成的平台区域；复合介质膜，覆盖沟槽及平台区域；隔热腔体，设于硅衬底中，由第二表面向内凹入，位于平台区域的部分复合介质膜下方；P型SiC薄膜电阻块及N型SiC薄膜电阻块，位于平台区域位置的复合介质膜上，且局部位于隔热腔体上方；绝缘介质层，覆盖P型SiC薄膜电阻块及N型SiC薄膜电阻块以及复合介质膜；金属图层，形成于绝缘介质层上，包括电极及引线，将P型SiC薄膜电阻块及N型SiC薄膜电阻块连接形成热电堆。本实用新型采用具有优异高温性能的单晶SiC作为热电材料，可实现高温恶劣环境中热流密度的快速、准确测量。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障