| 专利名称 | 大口径宽光谱范围F-P可调谐滤波器的高精密装配系统 | 申请号 | CN201820155328.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207965381U | 公开（授权）日 | 2018.10.12 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 丛蕊;刘定权;蔡清元;陈刚;周晟;蒋林 | 主分类号 | G02B27/62(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B27/62(2006.01)I;G01J3/26(2006.01)I | 专利有效期 | 大口径宽光谱范围F-P可调谐滤波器的高精密装配系统 至大口径宽光谱范围F-P可调谐滤波器的高精密装配系统 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本专利公开了一种大口径宽光谱范围F?P可调谐滤波器的高精密装配系统，该装配系统主要由定镜安装模块、动镜安装模块、压电惯性驱动器、三维微位移平台和二维电动位移台组成，采用粗调、微调和精调三重调节机构调节对F?P腔的初始腔长和反射镜面间平行度进行精确设定，腔长调节分辨率可以达到10nm量级，腔内两反射镜面间平行度可以达到10?1μrad量级。该高精密装配系统位移定位精度高，平行度调节能力强，能够确保大口径宽光谱范围F?P可调谐滤波器的F?P腔的初始腔长和反射镜面间平行度满足高光谱遥感应用要求。 |
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