| 专利名称 | 一种用于晶圆表面缺陷检测的信息处理方法 | 申请号 | CN201610688543.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106206351A | 公开（授权）日 | 2016.12.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 | 发明（设计）人 | 陈鲁;刘虹遥;张朝前;杨乐;马砚忠;路鑫超 | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于晶圆表面缺陷检测的信息处理方法 至一种用于晶圆表面缺陷检测的信息处理方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明属于晶圆检测技术领域，公开了一种用于晶圆表面缺陷检测的信息处理方法，利用同一缺陷引起的多个信息对应位置较近的特点，将定位坐标距离与比较距离进行比较，根据比较结果对信息进行合并处理。本发明解决了现有技术中晶圆表面缺陷检测的重复扫描导致重复信息，从而降低晶圆表面缺陷检测结果的准确性的问题。达到了有效提高晶圆表面缺陷检测结果的准确性的技术效果。 |
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