| 专利名称 | 双通孔结构的微型热电能量采集器及其制备方法 | 申请号 | CN201510532111.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106486593A | 公开（授权）日 | 2017.03.08 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 徐德辉;吴利青;熊斌 | 主分类号 | H01L35/32(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L35/32(2006.01)I;H01L35/04(2006.01)I;H01L35/34(2006.01)I | 专利有效期 | 双通孔结构的微型热电能量采集器及其制备方法 至双通孔结构的微型热电能量采集器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种双通孔结构的微型热电能量采集器及其制备方法，所述采集器的制作过程中采用双通孔结构，即：环形沟槽和通孔。再在双通孔结构中分别填充第一热电层和第二热电层，形成热电偶对，并通过顶部电连接层实现热电偶对之间的串联，得到热电偶阵列，即微型热电能量采集器。本发明的热电能量采集器与传统平面结构的采集器相比，其双通孔结构热电偶臂端面与导热板之间具有较大的接触面积，可以降低接触热阻和接触电阻，提高器件的温差利用率和发电功率；同时，相比垂直结构分立的热电偶臂阵列，这种双通孔结构可以进一步提高器件的集成度。 |
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