| 专利名称 | 高速量子级联红外探测器及其制作方法 | 申请号 | CN201610893732.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106252421A | 公开（授权）日 | 2016.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 周予虹;翟慎强;梁平;刘俊岐;刘峰奇;王占国 | 主分类号 | H01L31/02(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L31/02(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 专利有效期 | 高速量子级联红外探测器及其制作方法 至高速量子级联红外探测器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种高速量子级联红外探测器的制作方法，其中所述高速量子级联红外探测器，包括：一衬底，该衬底为矩形，其一端向下为一斜面；一CPW地电极层，其制作在衬底上，该CPW地电极层开有一喇叭形的开口；一CPW信号电极层，其制作在衬底上面，并位于CPW地电极层上的喇叭形开口的中间，该CPW信号电极层为锥形；一下接触电极层，其制作在CPW地电极层上的喇叭形开口的端部，与衬底和CPW地电极层接触；一周期性量子阱垒层，其制作在下接触电极层上面的中间；一上接触电极层，其制作在周期性量子阱垒层上；一空气桥连接结构，其一端连接CPW信号电极层，另一端连接上接触电极层。 |
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