一种用于红外光谱衬底的制备方法

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专利名称 一种用于红外光谱衬底的制备方法 申请号 CN201610608505.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106198435A 公开(授权)日 2016.12.07 申请(专利权)人 国家纳米科学中心 发明(设计)人 胡海;胡德波;刘瑞娜;白冰;杨晓霞;戴庆 主分类号 G01N21/35(2014.01)I IPC主分类号 G01N21/35(2014.01)I 专利有效期 一种用于红外光谱衬底的制备方法 至一种用于红外光谱衬底的制备方法 法律状态 著录事项变更 说明书摘要 本发明提供了一种红外光谱衬底的制备方法,包括如下步骤:1)选取支撑基底;2)利用机械加工、干法或者湿法刻蚀的方法,在支撑基底上制备通孔结构;3)转移衬底材料和其保护层至通孔表面:利用标准的湿法转移工艺,将衬底材料和其保护层转移至样品表面,将样品晾干并且加热使得转移的薄膜与基底贴合紧密;4)对通孔的背面进行密封:利用另一块基底材料贴合至背面通孔处,使用玻璃胶将背面的通孔密封;5)去除样品表面的保护层:将样品放置于丙酮或者去保护层溶剂里,去除表面的保护层;6)拆除样品背面的密封结构:将样品清洗干净并且晾干以后拆除背面的密封基底。

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