| 专利名称 | PSD2干涉检测中局部采点的控制方法 | 申请号 | CN201610533855.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106168463A | 公开（授权）日 | 2016.11.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 嵇文超;周游;顿爱欢;徐学科;刘世杰;吴福林 | 主分类号 | G01B11/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/00(2006.01)I | 专利有效期 | PSD2干涉检测中局部采点的控制方法 至PSD2干涉检测中局部采点的控制方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种PSD2干涉检测中局部采点的控制方法，包括：步骤1：工作平台回机械原点，步骤2：计算机械坐标系与工件坐标系之间的偏差，步骤3：对已知的玻璃尺寸以及检测阵列数，计算每点的绝对坐标，并且控制其按来回扫描的栅线型方式运动，步骤4：每次采点到达位置后，光栅尺位置与轨迹坐标做对比实现全闭环，步骤5：结束测量，安全锁紧，清零脉冲计数器并且退出程序。本发明提供的方法实现了对玻璃表面进行自动均匀采点的PSD2面形检测，能够自动定量规划路径，大大提高了测量效率，重复采样测量得到了保证。 |
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