一种具有自修复能力的耐腐蚀涂层及其制备方法

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专利名称 一种具有自修复能力的耐腐蚀涂层及其制备方法 申请号 CN201610551827.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106048529A 公开(授权)日 2016.10.26 申请(专利权)人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明(设计)人 黄峰;李朋;葛芳芳;徐相英 主分类号 C23C14/08(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/08(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 专利有效期 一种具有自修复能力的耐腐蚀涂层及其制备方法 至一种具有自修复能力的耐腐蚀涂层及其制备方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种具有自修复能力的耐腐蚀涂层,所述涂层由晶态Al和非晶态Al2O3两相复合而成,其成分表示为Al1?xOx,x=0.25~0.62,其中x为原子比率,所述涂层密度为3.0~3.4g/cm3。还公开了一种具有自修复能力的耐腐蚀涂层的制备方法,包括:(1)基体清洗;(2)涂层沉积:将清洗后的基体装入真空室中,当腔室真空度为1×10?5~5×10?5Pa时,通入氩气和氧气,氩气和氧气的流量比为2:1,控制溅射气压为0.25~0.4Pa,调整靶材的溅射功率密度为7.0~9.5W/cm2,接着逐渐通入氧气,当靶电压达到最低值时,开启样品挡板,对基体的表面进行沉积,得到具有自修复能力的耐腐蚀涂层。本发明制备的涂层利用Al的腐蚀产物来充当修复元,修复涂层后期受力过程中产生的贯穿性孔隙,提高涂层的耐腐行为。

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