一种用于光电子集成芯片的封装结构

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专利名称 一种用于光电子集成芯片的封装结构 申请号 CN201610352950.X 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN105977241A 公开(授权)日 2016.09.28 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 张志珂;刘宇;赵泽平;刘建国;祝宁华 主分类号 H01L23/64(2006.01)I IPC主分类号 H01L23/64(2006.01)I 专利有效期 一种用于光电子集成芯片的封装结构 至一种用于光电子集成芯片的封装结构 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种用于光电子集成芯片的封装结构,包括:介质基板,其表面设置有用于与外部电连接的地电极G和信号电极S,以及用于阻抗匹配的匹配电阻;金属导通柱,用于连接所述信号电极与所述光电子集成芯片的电极,实现两者之间的信号传输;匹配电阻,串联在所述信号电极S和地电极G之间,与所述光电子集成芯片并联以实现无金丝阻抗匹配,达到高内阻芯片的阻抗匹配。本发明的封装结构完全避免了金丝的使用,减小了由金丝所引入的寄生参数对器件性能的影响,适用于单通道和多通道集成芯片的封装。

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