| 专利名称 | 一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置 | 申请号 | CN201721736339.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207877846U | 公开（授权）日 | 2018.09.18 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 张撷秋;刘壮;杨世航;钟国华;黄俏俏;崔骏;李霖 | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置 至一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 一种带防液滴喷溅隔板的热蒸发装置，包括：蒸发材料；坩埚，所述坩埚容纳待加热的所述蒸发材料；喷管，所述喷管与坩埚的顶端端口相通；至少两个隔板，所述隔板为板状结构，且通过去除材料形成允许蒸汽通过的通孔；所述不同隔板沿竖直方向间隔放置在坩埚内壁，且位于蒸发材料上方，所述不同隔板的通孔在水平面的投影不发生重叠。在热蒸发镀膜工艺中，多个具有通孔的隔板可顺利通过蒸气，但由于每个隔板在水平方向的投影不重叠，因而阻挡大部分喷溅液滴，有效减少喷溅液滴到达镀膜表面，提高镀膜材料的厚度均匀性和化学组分一致性，提高镀膜工艺的良品率。 |
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