| 专利名称 | 一种准分子激光器放电腔气体的检测模块 | 申请号 | CN201820126062.0 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207894871U | 公开（授权）日 | 2018.09.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 郭馨;丁金滨;周翊;王宇;张立佳;刘斌;崔惠绒 | 主分类号 | G01N27/64(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N27/64(2006.01)I | 专利有效期 | 一种准分子激光器放电腔气体的检测模块 至一种准分子激光器放电腔气体的检测模块 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种准分子激光器放电腔气体的检测模块，该检测模块包括进气管，进气电磁阀，气体室，压力检测器，质谱分析仪，计算机，真空泵，真空管道电磁阀，卤素气体处理器，惰性气体管道和惰性气体电磁阀。并通过该检测模块实现了准分子激光器放电腔钝化过程气体或者激光器在钝化/运行过程的放电腔的气体检测，减少了钝化/运行过程中不必要的时间及能源浪费，提高钝化效率和运行效果。 |
1、源头对接，价格透明
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