| 专利名称 | 一种白光干涉三维形貌测量光学系统 | 申请号 | CN201710915918.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107796330A | 公开（授权）日 | 2018.03.13 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 姚东 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种白光干涉三维形貌测量光学系统 至一种白光干涉三维形貌测量光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 发明所提供的白光干涉三维形貌测量光学系统，包括宽谱段光源、投影照明镜组、分光镜、标准反射镜、第一方位调整器、第二方位调整器、直线驱动器、测量镜组及探测器阵列；宽谱段光源发出宽谱段照明光，经投影照明镜组后，投射至被测物体表面和标准反射镜表面；两处的反射光经分光镜合束后形成空间干涉光场，入射至测量镜组中，被投影到光电探测器上。本发明白光干涉三维形貌测量光学系统，能成像获得携带目标物形貌信息的干涉图像，能实时记录和观测目标物的干涉图像，从而为获得被测物体的物体三维形貌信息和二维图像信息提供数据基础。 |
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