| 专利名称 | 等离子体源单元、等离子体源装置及其应用 | 申请号 | CN201510870305.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106816353A | 公开（授权）日 | 2017.06.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 唐永炳;朱雨;牛卉卉;刘辉 | 主分类号 | H01J37/32(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J37/32(2006.01)I | 专利有效期 | 等离子体源单元、等离子体源装置及其应用 至等离子体源单元、等离子体源装置及其应用 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及等离子体源单元、等离子体源装置及其应用。所述等离子体源单元包括能源供应系统和微波谐振腔系统，所述微波谐振腔系统包括同轴式微波谐振腔、金属天线、同轴金属柱、空心金属圆柱和金属陶瓷部，所述同轴式微波谐振腔在底部和顶部分别开设有不同轴的第一开口和第二开口；所述空心金属圆柱外接所述第一开口处；所述同轴金属柱同轴插设于所述同轴式微波谐振腔中，一端与所述顶部连接、另一端延伸出所述空心金属圆柱外；所述金属陶瓷部填充在所述同轴金属柱和所述空心金属圆柱之间；所述金属天线插设于所述同轴式微波谐振腔中，一端与所述底部电连接，另一端延伸出所述第二开口；所述第二开口处外设有与所述能源供应系统相连的同轴转接头。 |
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