一种光学检测平台及光学检测方法

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专利名称 一种光学检测平台及光学检测方法 申请号 CN201510963717.0 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106338383A 公开(授权)日 2017.01.18 申请(专利权)人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发明(设计)人 金春水;马冬梅;于杰;周烽;张海涛 主分类号 G01M11/04(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/04(2006.01)I 专利有效期 一种光学检测平台及光学检测方法 至一种光学检测平台及光学检测方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及光学检测技术领域,特别涉及一种光学检测平台,包括第一平台、第二平台、固定装置、升降模块;所述第一平台,用于放置被检光学元件或干涉装置;所述第二平台,用于放置干涉装置或光学元件,所述第二平台中心位置设置有通孔;所述升降模块,用于控制第二平台靠近或远离所述第一平台;所述第一平台设置于底面,所述第二平台平行设置于所述第一平台的上方;所述固定装置一端固定于所述第一平台上,另一端与所述升降模块连接;所述升降模块带动所述第二平台升降,使所述第二平台靠近或远离所述第一平台,以调整干涉腔腔长。本发明通过设置升降模块控制第二平台的升降,从而达到了简单、快速的实现多种类型光学元件检测的有益效果。

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