制备金刚石涂层的热丝架及装置

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专利名称 制备金刚石涂层的热丝架及装置 申请号 CN201721416517.4 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN207775346U 公开(授权)日 2018.08.28 申请(专利权)人 深圳先进技术研究院 发明(设计)人 唐永炳;杨扬;谷继腾 主分类号 C23C16/27(2006.01)I IPC主分类号 C23C16/27(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I 专利有效期 制备金刚石涂层的热丝架及装置 至制备金刚石涂层的热丝架及装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型涉及一种制备金刚石涂层的热丝架及装置。该热丝架包括两左电极、两右电极,及连接位于同一水平面的所述左电极及与所述右电极的两电热丝组,所述两左电极在第一方向上相互平行,所述两右电极在第一方向上相互平行,所述两电热丝组在第二方向上相互平行,所述第一方向与所述第二方向相互垂直。如此,采用该热丝架可对金属基片的两表面同时制备金刚石涂层。

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