| 专利名称 | 用于薄片材料解离和转移的装置 | 申请号 | CN201721906477.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207765428U | 公开（授权）日 | 2018.08.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 刘祎慧;王宝军;黄永光;赵玲娟 | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 专利有效期 | 用于薄片材料解离和转移的装置 至用于薄片材料解离和转移的装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供了一种用于薄片材料解离和转移的装置，其包括：清洗凹槽、拖铲，粘有薄片材料的器件位于清洗凹槽的正上方；拖铲用于移取薄片材料；其中，拖铲包括：拖铲手柄、插棍，插棍用于移取时托住薄片材料。本实用新型可以大大降低薄片材料在解离和转移时受到的应力作用，极大地降低碎片率；本实用新型设计简单、制备成本低、操作方便、可视具体情况优化并灵活改进。 |
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