| 专利名称 | 一种具有导热件的热蒸发坩埚组件 | 申请号 | CN201721742785.5 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207727136U | 公开（授权）日 | 2018.08.14 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 刘壮;张撷秋;杨世航 | 主分类号 | C23C14/26(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/26(2006.01)I | 专利有效期 | 一种具有导热件的热蒸发坩埚组件 至一种具有导热件的热蒸发坩埚组件 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种具有导热件的热蒸发坩埚组件，包括坩埚本体及导热件，坩埚本体设有腔体，导热件嵌于腔体内且与腔体表面接触以进行热量传递，导热件上设有多个在高度方向连通的气体蒸发通道，气体蒸发通道用于导出坩埚本体内产生的蒸发原料气体。本实用新型一种具有导热件的热蒸发坩埚组件，通过热蒸发三维导热件将蒸发原料内部、临近液面处、接近坩埚内壁处连接起来，形成多个小的子蒸发区域。由于三维导热件结构的联通性，使得临近加热源的坩埚壁、底部的热量可以快速传导到坩埚内部和临近液面处，促进在非平衡态下的温度场均匀性，在热蒸发镀膜工艺中起到匀热，导热作用，降低了因温度不均匀导致喷溅的几率。 |
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