| 专利名称 | 一种可控线性蒸发装置 | 申请号 | CN201721745217.0 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207713807U | 公开（授权）日 | 2018.08.10 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 张撷秋;崔骏;刘壮;杨世航;陈旺寿;李霖 | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 专利有效期 | 一种可控线性蒸发装置 至一种可控线性蒸发装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种可控线性蒸发装置，该可控线性蒸发源包括坩埚、坩埚加热器、导管、导管加热器，所述坩埚和所述导管构成线性蒸发源，在所述导管和所述坩埚之间设置可控性阀门，来控制所述坩埚内材料气体的压力，进而在较短时间内改变材料气体的瞬间蒸发速率。采用该可控线性蒸发装置进行蒸发镀膜时，可以更准确地控制平均蒸发速率，扩大蒸发速率的调节区间，提高线性蒸发源的瞬间蒸发速率，同时在改变温度工艺时节约原料的消耗。 |
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