| 专利名称 | 一种电真空器件熔封装置及方法 | 申请号 | CN201710296029.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106997836A | 公开（授权）日 | 2017.08.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 卢裕;赵卫;田进寿;王俊锋;徐向晏;赛小锋;韦永林;刘虎林;温文龙;辛丽伟;段东平;郭军杰;张铁;何建平 | 主分类号 | H01J9/18(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J9/18(2006.01)I | 专利有效期 | 一种电真空器件熔封装置及方法 至一种电真空器件熔封装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出一种电真空器件熔封装置及方法，能够减少不可控的工艺环节以及手工操作，提高零件组件产品的一致性和互换性，从而提高电真空光电器件制作的效率及成品率。该熔封装置包括台架、工作台、上模板、升降导柱、火头以及电控单元；所述工作台、升降导柱和火头均定位安装于所述台架的台面上，其中工作台与台架的台面平行，工作台上设置有绝缘子固定槽；所述上模板用于在其下表面固定待熔封的零件，上模板安装于升降导柱上并与工作台平行相对，在驱动机构的作用下能够沿着升降导柱向工作台移动；所述火头布置于工作台两侧对应于绝缘子固定槽，用于对绝缘子加热，火头能够受控偏转使得上模板与工作台合拢的过程中避免干涉相互工作。 |
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