| 专利名称 | 一种高密闭性碲镉汞气相外延的石英套管 | 申请号 | CN201611063662.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106435718A | 公开（授权）日 | 2017.02.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 王仍;焦翠灵;徐国庆;陆液;张可锋;张莉萍;林杏潮;杜云辰;邵秀华 | 主分类号 | C30B23/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B23/02(2006.01)I;C30B29/48(2006.01)I | 专利有效期 | 一种高密闭性碲镉汞气相外延的石英套管 至一种高密闭性碲镉汞气相外延的石英套管 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于碲镉汞气相外延生长的石英套管，该石英套管由99.99999％的高纯石英材料制成的石英外管、石英限位管和石英内管和石英塞组成。石英外管是一端封闭，一端开口的圆柱体结构，开口端与封闭门相连。石英限位管为圆柱体杯状结构，放置在石英外管内部，靠近封闭端。石英内管是一个一端封闭，一端带有椎度开口的圆柱体结构。石英塞也有带锥度圆柱体的中空的磨砂口塞子，与石英内管匹配，石英塞与带弹簧的不锈钢管相连。石英内管和石英塞均放置在石英外管内部，靠近封闭门。石英内管内部放置可以进行气相外延的石墨舟。该石英套管用于碲镉汞气相外延生长，实现高密闭性、快速升降温的碲镉汞气相外延生长。 |
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