| 专利名称 | 干涉仪系统、干涉仪传递函数及性能优劣的检测方法 | 申请号 | CN201610463671.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106338380A | 公开（授权）日 | 2017.01.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 武东城;高松涛;苏东奇;彭石军;苗二龙;隋永新;杨怀江 | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M11/02(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 干涉仪系统、干涉仪传递函数及性能优劣的检测方法 至干涉仪系统、干涉仪传递函数及性能优劣的检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种干涉仪传递函数及性能优劣的检测方法，包括：将用于配合检测的面状光学元件放置于干涉仪系统的待测台上；调整所述面状光学元件在所述待测台上的放置状态，而使得所述面状光学元件分别处于多个放置状态；通过干涉仪系统的成像部相应地分别成像形成多个面形图，每个面形图中包括的干涉条纹的数量不同；以及至少计算其中两个面形图之间的残差得到第一残差以及计算其中另外两个之间的残差而得到第二残差，还至少根据第一残差以及第二残差之间的区别大小程度来判断干涉仪系统的包括传递函数和整体光学性能在内的优劣。本发明还提供一种干涉仪系统。本发明提供的干涉仪系统及检测方法，可通过简单且较准确的方式检测干涉仪传递函数及性能的优劣。 |
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