| 专利名称 | 一种铜铟镓合金靶材的制备方法 | 申请号 | CN201610959814.7 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106319469A | 公开（授权）日 | 2017.01.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 发明（设计）人 | 宋伟杰;杨晔;许炜 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;B22F9/08(2006.01)I;B22F1/00(2006.01)I;C22C9/00(2006.01)I;C22C30/02(2006.01)I;C22C28/00(2006.01)I | 专利有效期 | 一种铜铟镓合金靶材的制备方法 至一种铜铟镓合金靶材的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种铜铟镓合金靶材的制备方法，采用低温制备技术，将熔点较低的单质铟和单质镓混合熔炼，其所需熔炼温度低，可有效抑制和减少铟和镓的挥发，减少铟和镓的熔炼损失，保证最终制备的靶材的组分含量达到设计要求；该制备方法操作方便、简单，有助于降低靶材的生产成本，其将单质铜粉加入到载气中，直接作为合金中铜元素的来源，载气中加入的单质铜粉的密度高于单纯的载气，可形成较高的动能，在气流撞击液流的过程中，可以实现液流的细化和分散，同时，铜粉撞击液流所形成的动能也较高，使铜易于与铟或者镓形成合金化合物，确保最终得到的合金靶材的组分及性能的均匀性，制备得到的合金靶材致密度高，晶粒尺寸小，电阻率达到要求。 |
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