积分视场光纤光谱仪光纤排布检测系统及其检测方法

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专利名称 积分视场光纤光谱仪光纤排布检测系统及其检测方法 申请号 CN201610824209.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106197325A 公开(授权)日 2016.12.07 申请(专利权)人 中国科学院云南天文台 发明(设计)人 常亮;敦广涛;程向明 主分类号 G01B11/27(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/27(2006.01)I 专利有效期 积分视场光纤光谱仪光纤排布检测系统及其检测方法 至积分视场光纤光谱仪光纤排布检测系统及其检测方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种积分视场光纤光谱仪光纤排布检测系统及其检测方法,包括均匀光源发生器、分束器,消像差透镜组、探测器与计算机系统。计算机系统利用光学成像法检测光纤排布精度或者胶合微透镜阵列后光纤阵列与微透镜阵列光轴的同轴精度,根据成像系统放大率以及探测器像元尺寸,计算排布精度,其检测精度可达好于0.1微米量级,完全满足IFU光纤阵列排布精度的要求。

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