微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器

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专利名称 微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器 申请号 CN201610565762.5 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106129141A 公开(授权)日 2016.11.16 申请(专利权)人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;浙江大学 发明(设计)人 尤立星;巫君杰;李浩;王镇;方伟;童利民 主分类号 H01L31/0256(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/0256(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/08(2006.01)I;B82Y15/00(2011.01)I;B82Y30/00(2011.01)I 专利有效期 微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器 至微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供一种微纳光纤表面制备的超导纳米线单光子探测器,包括:微纳光纤及超导纳米线;所述超导纳米线位于所述微纳光纤表面,且所述超导纳米线的长度方向与所述微纳光纤的长度方向一致。本发明将超导纳米线形成于所述微纳光纤表面,利用微纳光纤在微纳尺度的光传输、耦合特性,可以实现微纳光纤与超导纳米线的直接高效光耦合,提高了超导纳米线单光子探测器的光耦合效率;超导纳米线的有效面积与传统器件相比不受光纤端面尺寸限制,可以减小超导纳米线的长度,从而有效降低超导纳米线单光子探测器的动态电感,进而提高超导纳米线单光子探测器的速率;超导纳米线直接形成于所述微纳光纤的表面,提高了超导纳米线单光子探测器长期工作的稳定性。

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