| 专利名称 | 一种氧化铝抛光液的制备方法 | 申请号 | CN201610445394.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106010297A | 公开（授权）日 | 2016.10.12 | 申请（专利权）人 | 上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 汪为磊;刘卫丽;宋志棠 | 主分类号 | C09G1/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C09G1/02(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I | 专利有效期 | 一种氧化铝抛光液的制备方法 至一种氧化铝抛光液的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种氧化铝抛光液的制备方法，包括如下步骤：1）将硅烷偶联剂、乙醇和水混合形成水解液；2）在95~110℃加热和搅拌条件下，将水解液加入到氧化铝粉末中，保持边搅拌边加热，直至液体挥发完全获得改性氧化铝；3）将改性氧化铝研磨成粉末分散到水里，调节溶液pH为9.5~10.5即为氧化铝抛光液。使用本发明的氧化铝抛光液可达到pH=13.00时的抛光效率，同时抛光片较少有划痕出现。 |
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