| 专利名称 | 近背向散射光学测量系统 | 申请号 | CN201721746134.3 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207636486U | 公开（授权）日 | 2018.07.20 | 申请（专利权）人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 闫亚东;何俊华;王维;韦明智;薛艳博;张敏 | 主分类号 | G01N21/47(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/47(2006.01)I | 专利有效期 | 近背向散射光学测量系统 至近背向散射光学测量系统 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型属于光学测量技术领域，具体涉及一种近背向散射光学测量系统，包括取样装置和测量装置，其特征在于：所述取样装置包括球状真空靶室和系统成像镜头，所述球状真空靶室内设置有靶点和散射板；打靶激光入射靶点产生的近背向散射光沿打靶反方向散射后由散射板产生漫反射，漫反射光穿过球状真空靶室上的测量窗口后，再经过系统成像镜头进入测量装置。本实用新型解决了现有的背向散射诊断技术存在因损伤阈值低而难以满足大规模激光驱动装置近背向散射光测量需求的技术问题。 |
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