| 专利名称 | 过渡金属硼化物-金属复合靶材与镀膜设备 | 申请号 | CN201721115049.7 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN207608623U | 公开（授权）日 | 2018.07.13 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 唐永炳;陈光海;蒋春磊 | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 专利有效期 | 过渡金属硼化物-金属复合靶材与镀膜设备 至过渡金属硼化物-金属复合靶材与镀膜设备 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供了一种过渡金属硼化物?金属复合靶材与镀膜设备，涉及镀膜设备技术领域，该过渡金属硼化物?金属复合靶材包括过渡金属硼化物基体和与所述过渡金属硼化物基体固定连接的金属件，所述过渡金属硼化物基体的工作面与所述金属件的工作面共表面，利用该过渡金属硼化物?金属复合靶材能够缓解制备复合涂层时金属含量不易精确控制的技术问题。 |
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